產(chǎn)品描述：采用藍(lán)寶石外延硅作為敏感芯片，將藍(lán)寶石上的外延硅制作成惠斯登電橋，利用硅的壓阻效應(yīng)，實現(xiàn)壓力測量過程中的力一電轉(zhuǎn)換。該傳感器由壓差敏感器和信號調(diào)節(jié)器兩部分組成。其差壓功能由兩個硅一藍(lán)寶石壓力敏感芯片來完成。